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  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Analysis".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="拋光墊性能"


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    化學機械拋光製程能量分析應用於拋光墊研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 余懿展 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究目的主要在進行後段導線製程 (Back End of Line, BEOL)中,銅導線的化學機械拋光之化學能與機械能佔比分析。由銅膜晶圓、鉭膜晶圓之化學機械拋光製程實驗,藉由集合式電錶即時觀測…
    • 點閱:284下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/27 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    線上拋光墊性能監測之彩色共軛焦系統取樣分析
    • 機械工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 陳俊臣 指導教授: 陳亮光 陳炤彰
    • 本研究主要為研發線上拋光墊監測系統,透過彩色共軛焦量測系統架設應用於旋轉式拋光機台,利用拋光盤面的旋轉運動以及搖臂的搖擺旋轉運動,搭配彩色共軛焦系統擷取高度資訊,進行線上監測之拋光墊表面形貌的掃描及…
    • 點閱:309下載:3
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